【摘 要】
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声表面波传感器具有敏感度高、通用性良好、工作频率高、易于集成等优点,已成功运用在生物工程、环境监测和食品行业等领域。本文主要从事ZnO压电薄膜材料的非外延制备和相关SAW传感器的研究,通过有限元方法给出器件各项性能参数与器件结构的关系,为相关传感器的研制和应用提供理论依据;并给出了利用磁控溅射法在Silica Glass基底上非外延制备(11^-20)ZnO压电薄膜的实验结果。论文主要开展了以下几
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声表面波传感器具有敏感度高、通用性良好、工作频率高、易于集成等优点,已成功运用在生物工程、环境监测和食品行业等领域。本文主要从事ZnO压电薄膜材料的非外延制备和相关SAW传感器的研究,通过有限元方法给出器件各项性能参数与器件结构的关系,为相关传感器的研制和应用提供理论依据;并给出了利用磁控溅射法在Silica Glass基底上非外延制备(11^-20)ZnO压电薄膜的实验结果。论文主要开展了以下几点工作:1)利用COMSOL有限元仿真软件建立基于ZnO films/Silica Glass和ZnO
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