光学薄膜是光学系统中重要的组成部分,随着激光朝着大能量、高功率的方向发展,对光学薄膜的抗激光损伤性能提出了更高的要求。光学薄膜损伤阈值的准确测量是研究高抗激光损伤薄膜材料的先决条件。为此研究者们开展了多种光学薄膜损伤阈值的测试方法,但仍存在测量精度低、可比性差等不足。为了准确、高效地测量光学薄膜的损伤阈值,本文设计搭建了光学薄膜激光损伤阈值测试系统,并实现了测试系统的智能化、自动化控制。理论分析了激光诱导光学薄膜发生损伤的机理以及激光的参数、膜料自身特性、膜层的厚度对激光损伤特性的影响,讨论了激光损伤阈值的测量标准、测试方法和激光损伤的判别方式。针对激光损伤阈值测试系统中的激光光源,设计研究了基横模脉冲固体激光器。充分考虑激光晶体的热透镜效应,研究了激光器谐振腔腔长以及激光晶体在腔内位置对电光调Q脉冲激光器输出激光的光束质量、脉冲宽度以及输出能量的影响。进一步优化设计了平凹谐振腔结构,获得了稳定的1064nm基横模激光输出,单脉冲能量200mJ,脉冲宽度为13ns。设计研究了光学薄膜激光损伤阈值测试系统,为了实现系统中的激光能量连续可调,分别设计研究了偏振片半波片组合与格兰-泰勒棱镜组合的激光能量衰减装置,对比研究了两种组合装置的控制精度。格兰-泰勒棱镜凭借其高消光比、高抗激光性能更适用于大能量、高精密控制要求的激光系统。通过单片机和RS422串口建立了计算机与系统各个模块之间的联系,实现了激光器的脉冲控制以及系统对衰减器、二维平移台和CCD相机的控制。编写了上位机控制程序,实现了控制系统的自动化、智能化。对激光损伤阈值测试系统进行了调试,并对光学薄膜样品的损伤阈值进行了测试,采用1-on-1测试方式,计算零损伤几率下1064nm增透膜的激光损伤阈值为 1.67J/cm2。