随着微电子机械系统技术的飞速发展,由于MEMS器件在国防和民用领域有着广泛的应用前景,MEMS研究已成为世界上发达国家高科技发展的重点方向之一。近年来我国政府对MEMS研究非常重视,在政府的资助和高校、科研机构的共同努力下,我国的MEMS器件研究工作已取得了很大的进展,但是与国外相比仍存在较大差距,在MEMS器件的工艺模拟和器件CAD设计方面还很落后。特别是在MEMS器件的结构设计上对国外器件的盲目模仿使我们不能全面地掌握器件设计和优化方法。阻碍了我国MEMS器件研制水平的进一步提高。本文正是从器件综合及优化方法进行入手,在当前有限的技术条件下,提出规范尺寸的概念来简化设计,建立了MEMS器件综合优化方法及流程。MEMS综合的实现可以缩短MEMS设计周期,实现MEMS器件的虚拟设计与制造,而MEMS综合的最高目标即是要实现MEMS系统的综合。论文首先研究VLSI中的数字逻辑综合,为MEMS综合的研究做指引,再对MEMS综合的概念、过程与方法进行了简要分析概述,分析对比MEMS综合与VLSI中的逻辑综合之间的相同及区别。分析国外的研究现状。提出规范尺寸的概念(当然是在一定的条件允许下),规范尺寸能很好解决MEMS器件综合中出现的多设计参数问题,缩减设计参数,简化设计过程。本文还研究梳状微谐振器的器件综合并利用有效面积的综合方法,得到相应的微谐振器器件结构参数,实现了微谐振器的器件综合。并用ANSYS软件进行返回验证,结果误差很小,符合设计要求。硅微加速度计是MEMS器件商业化中最成功的一种传感器,本文给出相应叉指式硅微加速度计器件综合两种优化方法及流程。MEMS综合是为MEMS设计所服务的,MEMS综合也正是为实现MEMS设计能有自己的单元库而做的前期工作。本文用C++Builder软件做了一个MEMS基本元件(包括悬臂梁,固支梁,薄膜)的简单综合接口。可以完成基本的几何器件参数综合。自动生成器件拓扑参数。论文工作初步完成了一个新兴领域-MEMS器件综合的实现方法。建立了一种依赖规范尺寸的器件综合,并以MEMS基本单元器件综合接口引出了建立相应MEMS设计库的思想。为MEMS系统综合的实现打下基础。