面对目前全球性的能源危机和环境污染问题,人类不断的在寻找可再生能源来替代传统能源,太阳能是最理想的清洁能源。因此,研究和开发低廉、高效的太阳能电池成为当务之急。非晶硅薄膜太阳能电池因其弱光效应好、光吸收系数大、生产成本低、适于大面积生产等优点,已成为太阳能电池家族中的重要一员。非晶硅薄膜太阳能电池的一项重要工艺是激光刻线工艺,激光刻线工艺直接影响着太阳能电池的转换效率。本文首先对激光刻线工艺进行了研究探讨,分析激光刻线产生的寄生电阻对电池功率的影响;优化了激光刻线工艺参数并获得了最佳激光刻线工艺参数;重点研究了负极边小电池对电池功率的影响并进行了优化;最后通过工艺和设备优化减小了太阳能电池的死区面积。主要工作总结如下:1.寄生电阻对太阳电池转换效率的影响:太阳能电池的输出功率、填充因子和转换效率随串联电阻增大而降低,随并联电阻增大而升高。进而分析了激光刻线对太阳能电池串联电阻和并联电阻的影响。2.探索了一次激光P1、二次激光P2、三次激光P3、以及激光扫边P4的最优激光工艺参数。并进行了工艺验证:最大功率达到73W,转换效率9.7%以及填充因子0.728。3.提出了P1刻绝缘线的工艺来替代P2上料前人工粘贴掩膜胶带工艺,并进行了工艺验证和比较,两种工艺下电池功率差异不大,P1刻绝缘线工艺的电池功率略微比掩膜工艺高。导入P1刻掩膜工艺使生产成本降低。4.研究了负极边小电池对电池功率的影响:负极边小电池会降低电池的整体功率。导入了新工艺:P2、P3负极边最后一条激光刻线不刻,使负极边小电池无效。并进行了工艺验证:电池功率提升了1.2W以上,P2、P3的生产节拍也提升了3~4s。5.优化死区面积提升了电池功率,通过工艺优化减小P1线宽以及设备优化减小P1-P2和P1-P3刻线线距,使死区面积共减少了30μm。并进行工艺验证:电池功率提升了0.26W,电池组件平均功率超过了74.5W,转化效率超过了10%。