大口径标准镜大倾角动态范围面形恢复研究

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大口径标准镜是光学元件面形检测中的重要测量器具,也是对大口径光学系统进行精密装调的重要基准。随着应用的不断拓展,目前大多数光学系统要求将大口径标准镜系统用于多种工作状态下。如果仍然采用传统的被动支撑,大口径标准镜会由于工作状态改变后的受力不同而引起面形误差。因此本文研究的是主被动复合支撑对大口径标准镜工作状态发生改变时引起面形误差的校正。本文主要开展了如下几方面的研究:1.针对1.2m口径标准球面镜工作状态发生小角度改变时引起面形误差的主动校正研究,设计了一套钢带侧支撑结合轴向18个促动器进行主动校正的主被动复合支撑系统。通过Solidworks建模并导入Workbench进行仿真分析,对不同小角度倾斜状态下的面形进行校正,使其恢复到标准工作状态下(镜面竖直)的面形精度。2.为验证主被动复合支撑对大口径标准镜面形误差校正的可靠性,设计并搭建了1.2m的标准球面镜的主被动复合支撑实验系统。通过对比不同状态下的面形检测结果,发现了镜面面形精度会随着倾角改变而受到影响。镜面在小角度倾斜时的主动校正实验结果和仿真结果吻合,表明了主被动复合支撑对于校正大口径标准镜面形具有可行性。3.针对2m口径标准平面镜工作状态发生大角度改变时引起的面形误差的主动校正研究,设计了以24点竖直推拉支撑结合轴向33个促动器的主被动复合支撑方案,并使用Workbench仿真优化模块对支撑结构的相关参数进行优化,对各种不同工作状态下的面形误差进行校正,面形校正精度能优于?/50。通过仿真1~33个促动器随机施加输出力误差和位置误差对面形校正精度的影响很小,说明了此主被动复合支撑系统具有很高冗余度和强健性。
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