随着工业的不断发展,工业排放的硫化氢气体对人们的生活产生了较为严重的危害,所以,对硫化氢气体的检测至关重要。对于有毒害气体的检测,半导体气体传感器发挥重大作用,因而气敏材料的创新研究是近些年的科研重点。针对硫化氢气体研发出一种具有高选择性、高稳定性、高灵敏度和低成本的气敏材料具有重要的实际意义。因而,本文研究的气敏材料是基于检测硫化氢气体的α-Fe₂O₃薄膜材料。首先,利用溶胶-凝胶法制备了无掺杂溶胶和Ni掺杂分别为2.5at.%、3.5at.%、4.5at.%的溶胶,利用旋涂法将溶胶旋涂在叉指电极上,其中,叉指电极是基于微电子技术完成制作的。在高温下退火,制备出不同的α-Fe₂O₃薄膜材料的气敏元件,之后,对这些薄膜材料的气敏性能进行了测试。通过对无掺杂α-Fe₂O₃薄膜材料和不同Ni掺杂α-Fe₂O₃薄膜材料的气敏特性分析,我们得出不同Ni掺杂的α-Fe₂O₃薄膜的最佳工作温度为300℃,无掺杂的α-Fe₂O₃薄膜的最佳工作温度为325℃;Ni掺杂量3.5at%的α-Fe₂O₃薄膜对硫化氢的灵敏度明显高于其他薄膜样品,由于掺杂了Ni元素,α-Fe₂O₃薄膜对硫化氢气体有着很高的选择性,对其它气体灵敏度不高,Ni掺杂量3.5at%的α-Fe₂O₃薄膜对硫化氢气体的响应时间和恢复时间分别为8s和12s,并且有较好稳定性和重复性。通过气敏测试分析,溶胶-凝胶法制备的Ni掺杂α-Fe₂O₃薄膜对硫化氢气体有着较好的气敏特性。