【摘 要】
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采用PLD溅射法在玻璃衬底上制备不同叠层顺序、不同比例的In/Cu-Ga和Cu-Ga/In预制膜,后经硒化、退火处理,得到CIGS薄膜.采用X射线衍射仪(XRD)表征了薄膜的晶体结构,采用扫描
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采用PLD溅射法在玻璃衬底上制备不同叠层顺序、不同比例的In/Cu-Ga和Cu-Ga/In预制膜,后经硒化、退火处理,得到CIGS薄膜.采用X射线衍射仪(XRD)表征了薄膜的晶体结构,采用扫描电子显微镜(SEM)和能量散射谱(EDS)观察和分析了薄膜的表面形貌和元素成分,采用光电子能谱(XPS)分析了薄膜表面的化学价态,采用紫外—可见分光光度计分析了薄膜的光吸收特性.实验发现,采用Cu-Ga/In的预制膜叠层顺序制备出的CIGS薄膜,其In元素损失严重.采用In/Cu-Ga的预制膜叠层顺序制备的CIGS薄膜,随着预制膜中In含量的增加,其CIGS薄膜表面的孔隙密度会增加,且由于采用单质In靶,导致CIGS薄膜表面有大颗粒产生.采用In/Cu-Ga的叠层顺序,且溅射脉冲数为Cu-Ga靶5万；In靶6万的溅射工艺下制备的Cu-In-Ga预制膜,后经硒化、退火处理,可得到沿(112)晶向择优取向生长,且致密、均匀、结晶良好的CIGS薄膜,其组分配比也处于理想范围之内,且对可见光有较高的吸收效率,适合做太阳电池的高效吸收层材料.
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