激光位移传感器及输出特性的研究

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基于三角法的激光位移传感器的应用领域极为广泛,在质量检验、设备维护、流程和设备监控、机械和生产自动化以及研发等各个领域中,位移传感器都为优化产品和流程起到了决定性作用。但是目前国内市场仍然没有比较成熟的三角法激光位移传感器产品问世,市场都被国外产品占据,而国外产品的价格非常昂贵,因此找出激光位移传感器在输出特性上与国外产品的差距,提出改进方案是一项很有应用价值的工作。本论文以三角测量法为测量原理,采用半导体激光器作为光源,搭建了基于四象限探测器和基于线阵CCD探测器的两套测量系统,对测量系统中各个部件的选取做了详细分析,并从理论和实验上分析了引起系统测量误差的各种因素以及消除或者减弱这些影响因素的方法。本文的主要工作如下:1.设计了基于四象限的激光位移传感器,并对该传感器进行了调试和标定。达到了预期的线性范围。适用于小量程、高精度的测量。2.设计了基于线阵CCD的激光位移传感器,并对该传感器进行了调试、标定、测试。适用于大量程、中精度的测量。3.比较了自行设计的基于线阵CCD的激光位移传感器和国外同类传感器的输出特性,针对各种不同被测面(色泽、材料、粗糙度、倾斜)进行测试,从理论上分析了产生这些差距的原因,并提出了改进方案。对以后改进传感器的设计提供了参考。
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