热流敏感薄膜材料的制备及器件研究

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【摘要】

：

随着科学技术的不断发展,热流的测量受到了广泛重视。相比传统的热流计,基于横向塞贝克效应的原子层热电堆(ALTP)热流传感器不仅结构简单,并且在灵敏度和响应速度上有一定优势。但是目前还没有大规模的商业化应用,在于该传感器的性能还有待进一步提高并且基于当前科技发展的可集成小型化需求也急需解决,由此需在现有的技术基础上进一步研制小型化、高灵敏度系数、可用于高频响应热流测试的ALTP热流传感器。本文主要研

【作者】

：

费希

【发表日期】

：

2021年01期

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