压电致动式微泵的驱动装置结构分析与设计

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本文根据压电致动式微泵的工作原理,建立了微泵驱动装置的压电复合层薄板的机电耦合力学模型,通过运用弹性薄板的小挠度弯曲理论,推导出一般形状和圆形压电复合层薄板的弹性曲面微分方程,提出了把压电片因逆压电效应引起的纵向应变驱动等效为作用在压电复合层薄板上的横向荷载的新方法,为今后这类问题的研究提供了新的设计方法。在计算等效横向荷载的过程中,作者对平行板电容器的边缘电场分布做了深入地研究和大量计算。在求超越方程数值解的基础上,建立了微泵驱动装置的有限元结构模型,并针对该模型进行计算机仿真与计算,得到另人满意的结果。最后,对微泵的驱动装置进行了局部结构优化,使微泵的工作性能得到了较大提高,并在这基础上总结出了一套设计微泵驱动装置结构的优化方法,得到的优化参数在一定程度上具有普遍的适用性。
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