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现代机电系统对各种极限工况条件下的动态精度和稳定性提出了越来越高的要求。传统上,首先对机械部分进行设计,然后再进行控制系统的设计。由于机械系统动力学特性和控制系统之间存在着相互耦合,结构参数和控制参数会形成冲突,因此按照传统的方法分别对机械系统和控制系统进行设计的结果一般来说对整个机电系统并不是最优的,而且可能会引起无解。为了提高整个系统的性能,应该对机电系统进行统一建模并在此基础上对机电设计参数同时进行优化。为解决微小机电系统极端运动性能设计中的性能瓶颈,论文探索性地提出了