X射线测厚仪的研究与实现

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本论文利用X射线与物质相互作用的原理对X射线测厚仪的标定方法进行了改进,根据国外的经验设计了一套以射线源、C型架、冷却装置、系统控制及采集等为主体的精度较高,工作较稳定的X射线测厚设备,提高了测量精度。通过X射线穿过物质时,强度的衰减与物质厚度的关系来测量厚度。主要的工作如下:首先介绍了测厚仪的发展过程及现状,然后从理论上研究了测厚仪的工作原理。本文的重点是X射线吸收的理论计算。在这部分讨论了连续X射线谱的硬化,及硬化对测厚造成的影响。由于能谱的硬化,物质对X射线的吸收系数随
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