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深紫外(DUV)是指波长介于40～200 nm的电磁辐射波段,由于其波长很短,单光子能量高,广泛应用在化学、物理、信息、材料、生命、资环等领域。深紫外全固态激光器(DUV-DPL)是基于KBBF棱镜耦合器件(KBBF-PCD)二次谐波产生(SHG)技术的新型DUV相干光源,具有系统简单、结构紧凑、寿命长、稳定性好等优点,同时其宽调谐、可压窄线宽、光束质量好、在飞秒(fs)、皮秒(ps)、纳秒(ns)不同脉冲条件下运转,重复频率1 GHz内大范围可控,是目前唯一能同时满足精密化、实用化的DUV激光器。深紫外(DUV)激光具有高的能量分辨率和光谱分辨率以及大的光子能量密度等特点,主要配套光电子能谱仪等精密科研设备。深紫外全固态激光器的研制过程主要包含基频光产生,基频光放大,非线性倍频,样机设计与搭建部分。本论文基于ps1342nm主振荡放大激光器,开展了 ps 167 nm深紫外全固态激光器的相关研究。从两方面对已有激光器性能的做了改进。第一,针对ps1342nm近红外激光在棒状Nd:YVO4晶体放大过程中光束质量出现严重恶化问题,将板条(Innoslab)行波放大技术用于ps 1342 nm激光放大,光束质量得到明显改善;第二,改进了 KBBF-PCD器件的切割角度,降低了器件表面的菲涅尔损耗,通过非线性倍频获得ps 167 nm深紫外激光输出。主要工作如下:(1)为了改善光束质量,简化放大机结构,将板条(Innoslab)行波放大技术用于ps 1342 nm激光放大,经过七程放大后实现脉宽24.6 ps、光束质量M2～1.65、平均功率20 W的1342 nm激光输出,其输出功率为ps 1342 nm最高输出功率。(2)为了降低器件表面的菲涅尔损耗,改进了传统KBBF-PCD器件的切割角度,通过非线性倍频获得ps167nm深紫外激光输出。