太阳能是一种清洁无污染的可再生能源,对缓解能源危机和日益严重的环境污染具有十分重要的意义。最近几年,太阳能电池的产量以前所未有的速度增长,其中多晶硅太阳能电池又占据了主要市场。常规多晶太阳能电池效率受到电池结构影响,导致在产业化生产中效率低,成本高。新型多晶硅太阳能电池结构选择性发射极(SE)的应用,对于提升转换效率和降低成本的意义重大。本文主要从以下几个方面开展研究工作：(1)对太阳能电池的基本概念进行了解后,并对多晶硅太阳能电池SE技术的原理、物理模型、结构参数和性能进行了深入研究。(2)常规多晶硅太阳能电池结构受扩散表面浓度和结深影响：扩散要求低掺杂以减少载流子复合,但低掺杂后,接触电阻增加,难以形成良好的欧姆接触；因此限制了多晶硅太阳能电池的转换效率。选择性发射极(SE)技术在电极接触区域进行重掺杂,而在光照区域进行低掺杂,能较好的解决转换效率的问题。(3)本文提出了一些后续选择性发射极工艺的优化和发展方向,希望进一步提升转换效率,减低制造成本,早日实现清洁能源的广泛应用。本论文通过对多晶硅太阳能电池片SE工艺优化的研究,优化了工业制程中的工艺参数,使得多晶硅太阳能电池片的光电转换效率提高约0.6%,达到17.6%;多晶硅电池片的单片生产成本下降约5%。