预先镀SiO<,2>膜玻璃基片上SnO<,2>:Sb薄膜的SOL-GEL法制备及表征

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本论文介绍了节能镀膜玻璃概况、节能特性、原理、特别是低辐射膜的种类及常用的制备方法,并总结出SnO<,2>:Sb薄膜以其良好的导电性和优良的光学特点,方便的制备方法,能够成为经济型节能镀膜玻璃的主要膜层材料.以无机金属盐SnCl<,2>·2H<,2>O和SbCl<,3>为原料,无水乙醇为溶剂,乙酸为催化剂,在普通的钠钙硅玻璃上预先镀一层SiO<,2>薄膜,采用溶胶凝胶浸渍法制备Sb掺杂SnO<,2>薄膜.研究了热处理温度、掺杂浓度和薄膜厚度对SnO<,2>:Sb薄膜结构和性能的影响,分析了薄膜的形成机理.结果表明溶胶凝胶法制备的SnO<,2>:Sb薄膜晶粒主要是四方相金红石结构,随着热处理温度的提高,SnO<,2>薄膜结晶性能提高,晶粒长大,发育趋向良好.热处理温度在773K时最好,适量的掺杂能显著提高薄膜的导电性能,并保持较高的可见光透射率和较高的红外反射率.薄膜的厚度对性能和结构影响也很大,随着薄膜厚度的增加,SnO<,2>薄膜结晶性能提高,晶粒长大,发育趋向良好.但薄膜厚度的增大会增加薄膜表面的粗糙度.
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