【摘 要】
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钛酸锶钡(Ba0.6Sr0.4TiO3, BST)铁电薄膜作为新一代微波调谐材料，具有广阔的应用空间和重要的研究意义。本论文主要研究钾(K)镁(Mg)交替掺杂对BST薄膜相结构特征及介电性能的影响。采用改进的溶胶-凝胶(Sol-gel)法制备K掺杂、Mg掺杂、K/Mg交替及Mg/K交替掺杂BST薄膜，首先利用XRD研究薄膜的相结构，并对薄膜铁电-顺电相变温度进行探索研究，然后对不同掺杂浓度薄膜的表
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钛酸锶钡(Ba0.6Sr0.4TiO3, BST)铁电薄膜作为新一代微波调谐材料，具有广阔的应用空间和重要的研究意义。本论文主要研究钾(K)镁(Mg)交替掺杂对BST薄膜相结构特征及介电性能的影响。采用改进的溶胶-凝胶(Sol-gel)法制备K掺杂、Mg掺杂、K/Mg交替及Mg/K交替掺杂BST薄膜，首先利用XRD研究薄膜的相结构，并对薄膜铁电-顺电相变温度进行探索研究，然后对不同掺杂浓度薄膜的表面化学态和表面形貌进行对比研究，最后围绕交替掺杂对介电常数、调谐率、优质因子等介电性能参数的影响进行分析
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