【摘 要】
：
金刚石薄膜集众多优异性能于一身而具有广阔应用前景，是材料研究领域的热点之一。尽管目前金刚石膜材料的制备工艺技术已较为成熟，但依然缺乏大气环境条件制备高质量金刚石薄膜
论文部分内容阅读
金刚石薄膜集众多优异性能于一身而具有广阔应用前景，是材料研究领域的热点之一。尽管目前金刚石膜材料的制备工艺技术已较为成熟，但依然缺乏大气环境条件制备高质量金刚石薄膜的有效方法。 本文采用金刚石膜制备新方法——微波等离子体炬(MPT)技术，以CO2、CH4和Ar混合气体为反应气源，在大气环境中的Si基底上沉积金刚石薄膜，并对制备出的薄膜进行XRD、Raman、SEM表征。研究了基体表面预处理方法、微波功率、气源比例、基片到火焰喷嘴的距离等工艺参数对金刚石薄膜物相成分、表面形貌的影响，建立了工艺参数与膜材质量的关系，总结出适合本实验系统制备金刚石膜的优化工艺条件。实验结果表明:基片通过金刚石微粉悬浮液预处理后，在微波功率为800W，基片到火焰喷嘴距离为5cm，气体流量比CO2/CH4为1∶1，Ar含量为89％条件下，能够得到相纯度高、结晶性能优良的金刚石薄膜。
其他文献
作为公务员管理制度体系的重要组成部分,公务员聘任制的平稳运行有利于深化公务员管理体制改革,优化公务员队伍结构,从而提高国家治理能力.文章以制度为核心分析变量,阐述了
近年来,乙烷的产量随着页岩气资源的大规模开采大幅增加。将其高效地转化成高附加值的乙烯化工原料具有重要意义。乙烷蒸汽裂解制乙烯需要在850℃以上的高温进行,能耗巨大且对设备材质要求极高。以弱氧化性的二氧化碳来活化乙烷,既可以降低乙烷制乙烯的反应温度,又可以将二氧化碳温室气体转化成合成气资源,同时实现节能减排和二氧化碳资源化利用,具有重要的理论和实际意义。本文以过渡金属锌和铬为活性组分,利用浸渍法制备
得益于社会认知研究范式的兴起,近二十年心理学视域下的权力研究取得了丰硕成果,权力效应是心理学关于权力研究的核心问题.本文对心理学视域下权力内涵的演变和研究范式进行
在国家公共应急管理体系中,中国红十字会的地位和作用比较突出,它既是国际红十字运动的成员国组织,又是中国党和政府在人道服务领域中的独特助手.作为一个复杂组织系统,从其
近年来,随着国家治理体系的逐步完善,基层群众性自治获得了新的发展机遇.以改革开放以来人民调解制度的发展为例,在国家推动下,城市人民调解制度经历了重要变革:一方面,人民
放电等离子体技术是一种新型的高级氧化技术,以生成羟基自由基、过氧化氢、臭氧等活性物质,以及紫外光、焦耳热等物化效应为特点。该技术在处理有机废水时,具有处理速度快、效率高、无二次污染等突出优点,但是也存在能耗较高、惰性有机物难以矿化等问题。本文提出放电等离子体激活过硫酸盐(PS)处理有机废水的方法,即利用放电等离子体中不能直接参与反应的紫外光和热等物化效应,激活PS生成氧化还原电势较高的SO4-·,
以我国27个省2012-2016年科技创新能力与相关政策数据为例,通过定性比较分析方法(QCA)研究区域科技创新能力变化与科技创新政策中财政支持工具组合的逻辑关系,研究发现:新型
学术界普遍认为,政策执行研究业已经历了三个发展阶段.第一阶段将政策执行议题引入公共管理研究领域,第二阶段提出了“自上而下”与“自下而上”两个政策执行过程模型,第三阶
中国自觉的城市环境治理走过了40多年的征程,其中包含着大量的经验和教训.总结这些经验教训并开拓前行的道路,是我们必须承担起来的一项重要的和迫切的任务.党的十八大以来,
电化学发光（ECL）核酸传感器广泛应用于基于检测，药物研究，环境分析和食品安全等领域因为它的高灵敏性和高选择性。DNA与蛋白质的交互作用在DNA复制、转录和翻译的过程中起着非常