基于纳结构探测器的红外气体传感器研究

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近些年来工业生产和国防现代化对传感器各方面性能指标提出了越来越高的要求,高性能新型传感器的研发受到人们越来越多的关注。当今传感器性能突破的重要研究方向主要在器件的结构和材料两个方面,纳结构探测器的研究尤其热门。本论文的研究工作主要针对金属铂纳米线红外探测器的性能测试及其在红外气体传感器上的应用。在搭建测试系统基础上,测量了铂纳米线红外探测器的电阻温度系数、热导、热响应时间常数、归一化探测率、噪声电压谱密度等参数,随后依据非分光型红外气体传感器的设计思想,以铂纳米线红外探测探测器作为传感单元,设计了能够检测二氧化碳气体浓度的红外气体传感模块,并对其可行性进行了定性分析。本文首先对红外探测器原理、红外气体检测原理以及国内外气体传感器发展现状做了简要介绍,阐述课题研究的意义以及主要工作。第二部分则是对铂纳米线红外探测器的性能进行研究,测试了铂纳米线红外探测器的热学、光学、以及电学性能。第三、四部分是依据非分光型红外气体传感器的设计思想,利用铂纳米线红外探测单元设计红外气体传感模块。最后对全文进行了总结。对以铂为材料的纳米线探测单元的性能研究可为后续阵列型纳米线红外探测器特别是焦平面探测器提供了参考。同时,对气体传感模块的研究也可对后来研究相关方面的人士提供一定的参考意义。
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