【摘 要】
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介质阻挡放电作为低温等离子体主要发生方式之一,被广泛应用于材料制备、臭氧产生等领域。介质阻挡放电主要采用高压交流电源供电,其应用效果与电源的输出特性(频率、输出电压大小及波形、负载匹配能力等)直接相关。本文针对介质阻挡放电系统供电电源频率增加导致等离子体电能利用效率低、等离子体反应器放大导致容抗减小等因素造成的高频电源与等离子体反应器不匹配问题,研制了一种高压变频电源。该电源的整体设计方案是由整流
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介质阻挡放电作为低温等离子体主要发生方式之一,被广泛应用于材料制备、臭氧产生等领域。介质阻挡放电主要采用高压交流电源供电,其应用效果与电源的输出特性(频率、输出电压大小及波形、负载匹配能力等)直接相关。本文针对介质阻挡放电系统供电电源频率增加导致等离子体电能利用效率低、等离子体反应器放大导致容抗减小等因素造成的高频电源与等离子体反应器不匹配问题,研制了一种高压变频电源。该电源的整体设计方案是由整流滤波电路、直流斩波电路、逆变电路、驱动和控制电路以及显示电路、高压变压器等部分组成,设计指标为额
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