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自进入21世纪以来,随着微纳米加工技术的发展,微型器件大量涌现出来。随着各界学者研究的深入,利用压电材料进行能量采集的技术得到了高度的重视,逐渐形成了一个重要的研究领域并且得到迅速发展。利用压电能量采集为微型器件供能的关键技术在于如何保证压电能量采集器微型化的基础之上提高电力的输出,并且将成本降到最低。不同的结构会对能量采集器的性能产生重大的影响,于是需找新型结构来提高压电能量采集器的性能成为各界学者研究的焦点之一。本文以Pb(Zr0.53Ti0.47)O3(PZT)薄膜多副梁微型压电能量采