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基于NEMS技术角度传感器制作工艺与特性研究
【摘 要】
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随着人们对汽车实用性、安全性、机动性、环保性和经济性要求的不断提高,越来越多的角度传感器被应用到汽车领域。本文给出一种基于巨磁电阻(Giant Magnetoresistance,GMR)元件的角度传感器,通过巨磁电阻元件感应磁场的变化,将磁场变化转变为角度值变化以实现平面角度的测量。该角度传感器由传感器芯片、小磁铁(施加磁场)、定子(放置传感器芯片)、转子(放置小磁铁)和刻度盘(标识当前角度)等
【机 构】
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黑龙江大学
【出 处】
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黑龙江大学
【发表日期】
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2021年09期
【基金项目】
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