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单层MoS_2的可控制备及电性能研究
【摘 要】
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近年来,随着芯片产业的快速发展,芯片在尺寸缩小上遇到瓶颈,高端芯片需求持续增长。二维超薄纳米材料作为有望替代传统硅基材料的候选者被广泛研究,其中单层二硫化钼(MoS_2)由于其独特的电学、力学及光电学性能表现出极大的应用前景。然而,要想实现单层MoS_2的广泛应用,必须解决可控制备均匀、高质量单层单晶MoS_2的问题以及MoS_2的生长机理不清晰问题。在现有的薄膜制备方法中薄膜晶体质量难以得到保证
【出 处】
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天津理工大学
【发表日期】
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2021年08期
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