近年，室内空气中的挥发性有机化合物(VOCs)导致的污染问题得到社会的普遍关注，对于空气净化技术的研究也随之逐步深入。低温等离子体技术作为一种新型的空气污染治理手段，具备在短时间内同时对浓度变化范围较大的多种气态污染物进行降解的能力，而且该技术与催化剂联合作用可以进一步实现等离子体净化过程的低能耗、高降解率。通过对低温等离子体发生器进行实验研究，进一步研制出一个有效的空气净化装置，开拓该技术在室内污染气体治理中的实际应用。 本实验运用介质阻挡方式产生等离子体的方法对挥发性有机化合物进行了去除效率的有关实验研究。实验中采用了多层介质阻挡放电架构，使用云母板以及含95％氧化铝的陶瓷板作为介质阻挡材料，先后研究了针对针、针对板等放电方式对去除效率的影响。实验中选用甲苯和苯作为实验的对象，两者作为典型存在于室内环境中的挥发有机化合物，具有很强的代表性和研究价值。该实验使用数字示波器测试得出了放电电压及电流的波形，经过分析处理与计算，综合气流流量的大小，得出能量密度(SIE)的数值，通过气相色谱仪等检测仪器检测空气中的挥发性有机化合物的浓度，通过比较得到了挥发性有机物的去除效率，综合分析能量密度和去除效率分析，最终得到该装置的最佳工作电压，并对其如何能更有效的工作进行了研究。通过对化学反应生成物的成分分析，对实验中可能出现的化学反应进行探讨，在等离子体去除挥发性有机化合物化学机理上做了一点探索性研究。综上所述，通过实验研究，这种新型的低温等离子体装置在同等条件下与传统技术相比，在处理苯等挥发性有机物时具有很好的效果。 通过实验的研究以及数据分析得出如下结论：通过探讨此设备的电特性，得出随着放电电压的增大，放电电流、能量密度、去除效率都呈一定的增长趋势；通过比较研究；得到了一个最合理的放电电压值为10KV；在没有使用催化剂和VOCs浓度不高的情况下，有效去除效率最高能达到76％，在VOCs浓度较高无催化剂时，最高去除效率能达到75％，采用催化剂时，去除效率能达到90％，甚至达到100％。