飞秒激光具有传统激光加工技术所没有的超高的峰值能量和极小的脉冲宽度的特点,这些特点使得飞秒激光加工技术在微纳米结构制作方面有独特的优势。但是使用飞秒激光单点直写加工技术制备微纳结构时必须逐点扫描聚合材料,导致加工大面积的微结构时间大大增加,从而加工效率会很低,为了进一步提高飞秒激光加工技术的加工效率,因此光束整形技术理之当然地出现了。通过调整飞秒激光光束的光场分布,达到所需要的光场形状,提升加工性能,使飞秒激光双光子聚合加工的适用范围进一步增大。本文采用液晶空间光调制器实现了飞秒激光光束整形。本文主要内容分为两部分:（1）基于涡旋光与环形菲涅耳光复用产生新型环状涡旋光束。环状涡旋光束具有直径可变、均匀性高、不受零阶光束影响等优点。研究模拟改变涡轮光的拓扑数对环形光场直径大小和形状的影响;研究实际实验中涡轮光的拓扑荷数对环形光场的直径大小以及形状的影响和零阶宽度对环形光场的直径的大小的影响。（2）基于闪耀光栅与达曼光栅复用产生焦点阵列光束,并使用该焦点阵列光束制备阵列陷阱结构实现微粒或细胞的实时捕获。研究改变光栅之间复用的角度生成不同焦点数阵列;研究多焦点阵列加工出来的阵列柱间距与光栅不同周期T之间的关系;对于阵列柱的鲁棒性,研究不同阵列柱间距与激光加工功率的关系;研究微粒浓度对使用四阵列柱陷阱的捕获率的影响。