由于硬质涂层刀具、模具的使用寿命远远高于一般的刀具、模具。因此,在生产企业使用硬质涂层刀具、模具已经非常普遍。同时,中国是一个稀土资源大国,将稀土元素引入刀具、模具涂层行业,发展稀土改性的硬质涂层不仅具有理论意义而且具有重要的实用价值。本文采用英国Teer公司生产的UDP450磁控溅射机和Cr靶、Ti靶、Al靶、Al-Y0.26 wt.%靶、Al-Y0.84 wt.%靶、Al-Y1.48 wt.%靶、Al-Ce12 wt.%靶,通过改变氮气流量、负偏压沉积CrAlTi(Y)N薄膜和CrAlTi(Ce)N薄膜。在国际上首次研究了稀土元素在溅射过程中对溅射产额的影响;研究了基体QT700-2表面石墨球上的CrAlTi(Y)N薄膜失效机理;研究了Al-Y合金靶材中不同稀土Y含量对CrAlTi(Y)N薄膜的生长、相组成、成分、结构、粗糙度、硬度、结合强度的影响;研究了氮气流量、偏压对CrAlTi(Y)N薄膜和CrAlTi(Ce)N薄膜的生长、相组成、成分、结构、粗糙度、硬度及耐磨性的影响。