论文部分内容阅读
微悬臂梁结构在微观领域有着广泛的应用,而微悬臂梁结构的机械特性又是研发和使用过程最为关心的参数之一。尤其是在原子力显微镜(AFM)的使用中,微悬臂梁的机械特性直接影响到原子力显微镜的成像质量和测试精度,而商品化的微悬臂梁机械特性的标定参数误差范围很大,不能满足应用需要。因此,对于微悬臂梁机械特性的测量成为原子力显微镜使用中的一个关键问题,必须加以解决。本文在充分调研的基础上,结合显微激光多普勒技术,建立了微悬臂梁离面运动测试系统,分析了用于间接测量微悬臂梁机械特性的方法,并实现了