稠密液固两相流动的CFD-DEM耦合的方法在CMP中的应用

来源 :内蒙古科技大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wh_wzy
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
稠密液固两相流是颗粒流体系统中的一个重要而又前沿的研究领域。随着计算机技术的飞速发展,数值模拟方法已成为研究稠密颗粒液固两相流动的一种强有力的工具。基于欧拉法建立的欧拉-欧拉模型(TFM,双流体模型)和基于拉格朗日法建立的欧拉-拉格朗日模型(CFD-DEM,计算流体力学-离散单元法)是目前描述该类液固流动系统主要的数值模拟方法。由于CFD-DEM法可跟踪单个颗粒的运动信息,还能够考虑颗粒-颗粒、颗粒-壁面碰撞及颗粒-流体间的相互作用,已经引起了众多学者的重视。目前,人们对流固两相流动中很多现象和过程了解的还比较少,最根本原因是对流固两相之间作用机理的不了解,对其的研究还主要停留在简单的实验观测和通过实验数据构造经验公式上。实验研究和理论研究存在较大的局限性,一般认为,数值模拟可以对实验和理论研究中的一些不足进行补充,并逐渐成为一种被广泛接受的研究方法。本文第一步,建立了湍流直接数值模拟模型,用简化的模型代替圆形平面,对其湍流复杂流动行为进行研究。第二步,建立了基于欧拉-拉格朗日思想的液固两相耦合模型,采用将计算流体力学(CFD)和离散单元法(DEM)耦合的方法,以颗粒与约束面的冲击力大小表征约束面磨损程度,模拟了化学机械抛光(CMP)过程,研究了复杂流场中颗粒运动行为和由于颗粒冲击产生的磨损。本文用数值模拟的方法对化学机械抛光过程进行研究,通过晶片与抛光垫的转动速度、固体颗粒相体积分数以及粒径对硅片表面去除率的影响,从而对化学机械抛光里面的一些现象进行了解释。此结果可为以后化学机械抛光工艺过程参数的优化提供一定依据。
其他文献
公司拥有两座5500m3超大型高炉,该炉型对焦炭质量的要求极为苛刻,要求焦炭M40维持在85%以上。针对高炉这一要求,炼焦用煤对优质煤的耗用量极高。因此,在保证焦炭各项指标满足
超级电容器是一种新型的储能装置,电极材料是超级电容器的核心组成部分。Co、Ni等过渡金属氧化物由于具有较高的比电容、并且价格低廉容易制备,近年来成为超级电容器电极材料的研究热点。本论文采用化学镀的方法在薄铜基底上镀覆Ni-B、Co-B镀层.运用恒电位电化学氧化形成B掺杂的NiO、Co_3O_4赝电容电极材料,利用XRD、XPS、SEM/TEM等现代分析测试手段对材料结构、形貌等进行表征,并对制备的
欧盟等国出台的轮胎标签法以及我国提出的《绿色轮胎技术规范》均对轮胎滚动阻力、抓地等性能提出了更高更全面的要求,然而这些性能之间存在不同程度的不相容性。因此,突破性
钙钛矿太阳能电池因具备高光电转换效率、溶液加工工艺和低成本而备受关注。钙钛矿材料作为核心,其形貌、结构和性能显著影响电池的性能。然而钙钛矿较差的稳定性和脆性制约
爆炸冲击波的各项参数是评估导弹和战斗部毁伤威力的重要依据。随着军事科学技术的不断发展,各类大规模武器的研发、测试和评定都越来越标准化,科学化。因此,对于冲击波测试结果的准确程度提出了更高的要求。数值模拟是研究爆炸冲击波的常用手段,但仿真结果往往不够精确;不同环境对冲击波测试结果有较大影响,如障碍物,传感器安装,地面性质和气象条件等,确定不同环境对冲击波测试结果的影响是目前急需解决的问题;无论哪种外
目前,人类赖以生存的传统化石燃料正在被飞速的消耗,带来了温室效应、酸雨、雾霾等环境问题。全世界在面对能源危机和环境污染这两大难题时达成了普遍的共识,要全力开发绿色
钢铁是当今社会发展必不可少的核心材料,高Co-Ni二次硬化钢是一种新型马氏体钢,具有很高的强度和韧性,目前主要应用在航空航天器械上如飞机的起落架。现如今,高Co-Ni二次硬化
从改革开放到建国70周年,随着我国城市化进程的加快和现代工农业的快速发展,土壤重金属污染问题日益加剧,严重阻碍了和谐美丽的社会主义现代化强国建设。本文以异位化学洗涤
随着科学技术的发展,工业设备逐渐呈现小型化、微型化趋势,微化工技术成为一门新兴的交叉学科,相应的小管道内气液两相流动也越来越受到关注,相比于常规管道,小管道面积/体积比大大增加,传递作用比常规尺寸的管道提高2到3个数量级,具有灵活高效、集成化等优点。和常规管道相比,小管道表面张力与粘性力影响显著增强,这就意味着小管道中表现出的一些流动特性和参数变化规律与常规管道不同。目前小管道两相流参数测量技术仍
杂环化合物广泛存在于自然界中,对动植物的生理活性起一定的作用。一个世纪以来,喹啉类和吲哚类化合物的合成及其应用一直是杂环化学的一个关键领域,受到众多化学工作者的青睐。发展更加快速、环保、高效的路线去构建吲哚和喹啉化合物一直是科学家们所追求的目标之一。喹啉和吲哚衍生物在医药、农药和化工生产中具有重要的作用。如,吲哚衍生物之一色氨酸,是人体营养必须的氨基酸,可治愈失眠、头疼等症状。因此,本文介绍了吲哚