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本论文采用溶胶-凝胶法，通过改变反应条件，控制形成的溶胶颗粒尺寸，同时进行化学改性，结合粒子填充方式构造粗糙结构获得超疏水表面。以正硅酸乙酯（TEOS）为原料，氢氧化钠为催化剂，十六烷基三甲基溴化铵（CTAB）为模板，三氟丙基甲基二氯硅烷（TFPDClS）为表面氟化试剂制备氟改性纳米二氧化硅。讨论了催化剂用量、氟硅烷的用量对氟改性纳米二氧化硅颗粒尺寸、形貌及疏水性能的影响。采用傅立叶红外光谱（FTIR）、扫描电子显微镜（SEM）和接触角测试仪（CA）对氟改性纳米二氧化硅的性能进行了表征。结果表明，纳米二氧化硅颗粒表面接枝有氟烷基，制备的氟改性纳米二氧化硅颗粒尺寸均一可控，呈椭球型，分散均匀。包裹水珠的接触角达到120°，挥发时间大于70min，水珠挥发较为完全。采用溶胶-凝胶法，以TEOS和TFPDClS为原料，分别采用硝酸、氨水催化，在不同工艺下，制备了氟改性有机溶胶，并用旋转涂膜机在玻璃表面旋涂成膜。讨论了氟硅烷用量对溶胶结构和性能的影响。采用傅立叶红外光谱（FTIR）、扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）和接触角测试仪（CA）对改性溶胶涂层进行表征。结果表明，有机改性溶胶中含有氟烷基，且溶胶结构与氟硅烷用量有关。溶胶涂层表面均匀，少量微小凸起是由纳米级颗粒及其微米级团聚体构成的，其平均粗糙度较低，且与氟硅烷用量有关。溶胶涂层的疏水性较好，且具有热稳定性，在不同温度下涂层接触角不随时间延长明显降低，较佳工艺下的涂层接触角分别达到110°和158°。结合粒子填充法，将氟改性纳米二氧化硅颗粒填充到氟改性有机溶胶体系，获得超疏水复合涂层。采用FTIR、SEM、AFM和CA对复合涂层结构和性能进行表征。结果表明，复合涂层中含有氟烷基，且其结构主要与溶胶结构有关。复合涂层表面均匀，填充的纳米二氧化硅颗粒提高了溶胶涂层的粗糙程度，在复合涂层表面出现了较多分布均匀的由纳米颗粒及其团聚体构成的粗糙结构。填充改性二氧化硅颗粒使得复合涂层的疏水性得到提高，且仍具有热稳定性，在不同温度下复合涂层接触角不随时间延长明显降低，不同工艺下获得复合涂层的接触角分别提高到140°和168°。