【摘 要】
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多元氮化物薄膜是近年来综合考虑了金刚石、立方氮化硼等超硬薄膜和TiN等高韧性薄膜的优缺点后发展起来的一种复合型薄膜,在耐磨耐蚀材料领域内具有广泛的应用前景.该文在综
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多元氮化物薄膜是近年来综合考虑了金刚石、立方氮化硼等超硬薄膜和TiN等高韧性薄膜的优缺点后发展起来的一种复合型薄膜,在耐磨耐蚀材料领域内具有广泛的应用前景.该文在综合分析这一领域研究发展状况的基础上,针对四个急待解决或尚缺深入研究的问题：（1）膜层成份与靶材成份之间的关系及正确设计靶材成份的理论依据;（2）多元膜,尤其是低合金含量的多元膜的性能与组织结构,如显微组织的非均质性、择优取向的特点、点阵常数变化等的关系及多元合金化强化机理;（3）几乎处于空白状态的多元膜中各元素化学状态问题;（4）膜/基过渡层的相结构问题,进行系统深入的试验研究理论探讨,从而建立较为系统的关于氮化物薄膜的多元合金化技术和理论.
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