砂轮划片机是太阳能电池及集成电路划片工序必备的关键设备,其精度直接影响晶片的划切质量。随着光伏发电和集成电路的日益发展,对砂轮划片机的精度与寿命提出了更高的要求,而影响砂轮划片机加工精度的主要因素是设备的振动量,其振动程度与结构动态特性及划切参数的选取有着重要关系,本文以ZSH506型高精密砂轮划片机为研究对象,对其展开两大方面的研究:一方面从动力学角度出发,对砂轮划片机主要系统进行模态测试试验,计算各阶固有频率,找出刚度薄弱位置,为结构优化提供参考;另一方面围绕振动测试在避开各阶固有频率及谐频的基础之上,优化工艺参数以降低设备振动量。具体内容如下:(1)概述砂轮划片机的研究现状,论述测点优化对复杂装配体模态测试的重要性;(2)以模态分析基本理论为基础,按照均匀布置测点为原则进行砂轮划片机主系统模态测试试验,分析模态测试结果,找出振动剧烈位置并提出改进措施,由测试结果说明测点优化的必要性;(3)结合有效独立法、QR分解法及MAC准则、香农扩展定理对砂轮划片机主系统进行测点优化,以优化后的测点进行模态试验,将优化后的测试结果与优化前相对比,证明优化算法的正确性及测试结果的精确性;(4)分析了砂轮刀具、切割材料及工艺参数对划切质量的影响,在避开各阶固有频率基础之上选取工艺参数范围,以主轴振动均方根值作为评价指标,利用回归正交设计法进行试验,建立振动量与划切工艺参数之间的回归方程;(5)利用MATLAB遗传算法工具箱对所建回归方程进行迭代优化,得出对应最小振动量下的最佳工艺参数,并进行实验验证,证明优化结果的正确性。通过上述研究,从砂轮划片机的动态特性及工艺参数两方面实现设备振动量的降低,对提高划片机的划切精度具有重要意义。