Ⅲ-V/Si混合集成光电器件的研究

来源 :华南师范大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hbliuzy
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
由于信息时代对信息容量的需求呈爆炸式增长,传统的电互连发展遇到了瓶颈。经过数十年的努力,推进了信号的传输、交换和路由等功能以光的形式代替电互连。而为了满足未来高性能计算机及数据中心对高带宽、低延迟数据交换的要求,以片内光互连代替片内电互连是努力方向。硅基集成由于其在微电子学的统治地位及在光子学的巨大优势,逐渐成为集成光路的主流平台。然而,其在相关有源器件的性能上还乏善可陈。混合硅基平台,将Ⅲ-Ⅴ族外延片键合到绝缘硅基片上,可以灵活实现各种无源和有源器件的集成。本论文主要探究了集成光收发模块原型以及双面刻蚀硅基Ⅲ-Ⅴ纳米线波导两个内容。  首先,在集成光收发模块方面,我们详细介绍了电吸收调制器的优化设计过程;设计布局了尺寸大小为6mm×3 mm的集成光收发模块原型;我们完成了所设计的光收发模块的加工制作;并且,分别实验测试了电吸收调制器和光探测器的传输速率达到了30 Gbps。  其次,在硅基双面刻蚀Ⅲ-Ⅴ纳米线波导方面,我们对其进行了分析设计,并且对硅基双面刻蚀Ⅲ-Ⅴ纳米线波导与传统Ⅲ-Ⅴ混合硅波导进行了比较。此外,我们在工艺上实现了硅基双面刻蚀Ⅲ-Ⅴ纳米线波导的制作,并测得Ⅲ-Ⅴ纳米线波导宽度为500 nm和600 nm时,TE模和TM模的光传输损耗分别为18.58 dB/mm、16.18 dB/mm和24.5 dB/mm、17.83 dB/mm。
其他文献
本文通过对荣华二采区10
期刊
民用机场跑道道面平整度和表面状况对航空器运行及其安全性有重要影响。本文对跑道平整度的评价指标、评价标准和平整度调查方法进行了全面分析。借助于建立的航空器跑道滑跑
物流地产运营主要是利用租赁模式获取回报,在现阶段物流地产需求大于供给的情况下,虽然电子商务的高速发展进一步扩大物流地产的发展空间,但是成本控制较弱直接影响物流地产
随着我国经济发展越来越迅速,各大城市之间的货物运输也越来越频繁,我国公路工程建设数量越来越多,公路规模不断扩大,在这种运输业高速发展的形势下,人们越来越关注公路工程
中国煤炭市场总体形势仍不容乐观.本文首先介绍了当前煤炭企业管理面临的挑战.然后,笔者结合自己的实践,研究煤炭公司是如何改善销售困境.
在对近年事故成因的分析中,发现驾驶员尤其是驾龄在三年以下的驾驶员肇事比率很大,产生这种状况主要是因为这些驾驶员大脑中没有形成正确的行车“内部模式”,造成驾驶员对潜
本文通过对荣华二采区10
期刊
根据新修订的《中华人民共和国预算法》和《国务院关于深化预算管理制度改革的决定》(国发〔2014〕45号)有关要求,各级政府要全面、准确反映整体财务状况、运行情况和财政中
自由空间光通信(FSO)宽带传输是近几年倍受注目、发展迅速的通信技术.它在传输特性上具有优于光纤通信和微波通信的特点,因而在许多领域得到应用,或者具有潜在的和重要的应用
本论文工作主要研究全息光栅的制作工艺。为了降低对制作者个人经验的依赖并提高工艺的可控性,对曝光和显影分别建立了的实时监测技术,并提出了相应的理论模型。通过实验和理论