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中国互联网信息服务协同治理：应然模式与实践路径
【出 处】
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吉林大学
【发表日期】
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2021年01期
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期刊
大尺寸、高精度三维形貌测量技术在超高精度加工检测领域发挥着重要的作用,相关仪器设备的研发关乎国家核心竞争力,对于我国制造业发展具有重要意义。本文的研究对象是分米级尺度视场、微米级横向分辨率、纳米级矢高分辨率的超高精度测量问题。本文的基本理论是白光干涉测量理论。本论文从仪器总体实现角度着手,目的是突破大视场高精度三维形貌测量领域的关键技术,具体包括大视场双远心Michelson干涉镜头设计及检测技术