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近年来,随着能源危机的加剧以及人们环保意识的增强,人类社会的发展急切需要加快新能源技术的开发。热电材料具有直接实现热能、电能相互转化的特性,可以广泛应用于温差发电、热电制冷和余热回收,且该类材料具有寿命长、体积小、成本低、无污染等特点,对深化节能减排有着重要的意义。热电优值是评价热电性能的关键指标,其性能高低决定于热电材料的电导率、Seebeck系数、热导率以及绝对温度。目前,Bi2Te3是室温下热电性能最好的材料之一。本文旨在通过调节磁控溅射制备Bi-Te基薄膜的工艺参数,从而获得界面平整、结构致