基于PSD的高精度光电自准直仪的研究

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本文针对国内自准直仪发展落后这一现状,研究并提出了一种基于PSD的高精度光电自准直仪,其整体结构由光源、光学透镜组、PSD传感器及其软硬件处理系统构成。在设计过程中采用了折返式光路,有效的减小了光学系统和仪器的体积,并对自准直仪光学系统进行了仿真设计与分析。同时,本文还对位置敏感探测器(PSD)进行了具体研究,并以日本滨松公司S1880型PSD为例,通过人工神经网络BP优化算法、三坐标测量机标定对其进行非线性校正,提高了PSD的测量精度。为自准直仪的重复测量精度提供了技术保证。本文设计提出的自准直仪技术指标为:测量范围±5′、全量程测量误差小于0.2″,测量分辨率小于0.01″,工作距离10m。适用于小角度精密测量。
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