强光全反射镜梯度薄膜的研究

来源 :华中科技大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mbx1998
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
谐振腔高反膜是制约高功率脉冲激光系统性能的主要光学元件之一,高功率激光辐照对光学介质薄膜的破坏机理一直是研究者关注的热点问题.该文将功能梯度薄膜的概念应用于强激光全反射镜中,从材料体系的角度出发为解决全反射镜爆裂难题进行基础性的探索.运用RF磁控溅射方法制备出Si-SiO<,2>系功能梯度薄膜.利用椭圆偏振仪、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)以及Fourier变换红吸收谱(FTIR)等对RF磁控溅射制备的SiOx薄膜的结构、性能进行了研究,并研究工艺参数如氧气流量、气体压强和射频功率对SiOx(0≤x≤2)薄膜结构、性能的影响,建立工艺、结构和性能之间的关系.
其他文献
现代社会的飞速发展对材料提出了更高的要求,需要从工艺性、经济性到可持续发展性等多方面综合评估。近年来,随着生态友好性和可持续发展性越来越受到人们的重视,天然纤维/聚合
针翅管是一种三维非连续翅片管,对润滑油等粘度较高的流体有较好的强化传热效果。在针翅管的基础上,作者所在实验室新开发了一种套管式强化传热元件。这种强化传热元件由针翅管
CuInSe和Cu(In,Ga)Se多晶薄膜由于其性能稳定性和较高的光吸收系数等众多的良好性能,成为太阳能光伏应用中的重要材料.在该文中,我们使用电镀法在机械抛光后的Mo衬底上制备了
内部损伤的愈合可以看成是在一定条件下(如环境能量的输入)发生的热力学不可逆过程.该文采用单向对称拉压低周疲劳方法在工业纯铜试样中引入内部微裂纹,其临界长度约17μm左右,
想像有个了解你的计算机网络,对你的某些方面了如指掌:你在什么时候什么地方上班,你的朋友是谁,你喜欢在哪儿吃饭……这张网络就像你带在身边的私人秘书,随时给你提供建议到
学位
Cr基硬质涂层被认为是一类极具潜力的防护涂层,在切削工具以及模具上已经得到了广泛的应用。其中CrN涂层具有良好的韧性和耐腐蚀性能,但硬度不高。Cr2O3涂层具有高的硬度、特殊
水性涂料以水为主要溶剂,对人体与环境危害小,并且具有施工方便、安全性好、易于储存运输等特点,已成为现代涂料的重要发展方向。目前水性涂料在建筑涂料和电泳涂料领域得到了广
随着计算机技术的迅猛发展和材料科学基础理论的不断完善,计算机在材料科学与工程中的作用越来越突出,应用也越来越广泛.90年代初,一门新的学科——计算材料科学形成了.第一
通过分析贺江航道运能受阻主要原因,结合航道扩能目标及中车创新产品-智能空轨系统特征,提出贺江航道扩能智能空轨系统解决方案.智能空轨系统与传统航道扩能方式相比,综合成