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激光抛光,作为一种新兴的特种加工技术,在很多领域有着广泛的应用前景,尤其适用于传统加工技术难以加工的特殊表面、微尺寸零部件等。碳化硅材料是一种十分优秀的半导体材料,在空间航空航天技术中有着难以替代的重要地位。钇钡铜氧高温超导材料是最先发现的高温超导材料,具有极高的超导转变温度,是磁悬浮技术中的重要原材料。在本文中,利用波长248 nm的准分子激光器对6H碳化硅单晶损伤表面进行激光微区域抛光修复。利用三维表面轮廓仪测量了晶体抛光前后的表面粗糙度,并结合抛光前后晶体表面微观形貌特征分析了激光能量密度、光斑重叠率等因素对碳化硅晶体表面粗糙度的影响规律,之后,使用扫描电子显微镜观测了激光抛光晶体的表面状态,并利用激光拉曼光谱仪测定了加工后晶体的表面成分,分析了激光抛光过程中材料的去除机理。同时,获得了较为理想的加工工艺参数,即激光脉冲能量为320 mJ-340mJ(0.314J/cm~2),重复频率4 Hz,焦面上2.6 mm处,激光抛光效果最为理想,样品表面粗糙度下降。准分子激光抛光碳化硅单晶的过程是一个复杂的物理与光致化学反应过程的混合。同时,利用波长为248 nm的KrF准分子激光器对YBCO高温超导薄膜表面进行激光微区域抛光修复。结合抛光前后材料表面微观形貌特征分析了激光能量密度、光斑重叠率等因素对YBCO超导薄膜表面粗糙度的影响。并对抛光样品进行了拉曼光谱分析,确定了准分子激光抛光YBCO晶体的去除机制,获得了较为理想的工艺参数。准分子激光抛光功能材料的过程很复杂,针对不同材料,所选取的工艺参数和设备也不尽相同。总的来说,准分子激光抛光功能材料的热效应小,抛光过后材料的表面粗糙度很低,是一种十分可行的微区域抛光修复手段。