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周期极化钛扩散近化学计量比铌酸锂光波导(Ti:PPLN)在全光波长变换器、中红外激光光源以及THz辐射源等方面都具有广阔的应用前景。本论文开展了近化学计量比Ti:PPLN光波导的研究工作，涉及周期极化处理用高压方波脉冲电源的改进和液体电极极化装置的研制以及富锂气相输运平衡(VTE)对铌酸锂晶体畴结构的影响，进一步完成了近化学计量比Ti:PPLN条型光波导的制作和表征工作。取得了如下一些研究结果：1.完成了所购置的高压直流电源的改进工作，以适应于周期极化实验。改进工作主要涉及可控信号发生器、光耦隔离电路和功率放大驱动装置的增设，以实现高压方波脉冲的输出。还研制了液体电极极化装置，包括电极夹具和外接极化电路。外接极化电路部分配备有示波器、高压电表等监测设备，可以实时监控极化过程。2.利用研制的极化系统研究了富锂VTE处理时间和极化反转电压的关系。本文以0.5mm厚Z切同成份铌酸锂晶体为样品进行研究。研究结果表明富锂VTE处理时间小于25h，畴反转电场随VTE时间增加线性减小。在VTE处理达到30h后，畴反转电场降低到最小值为4.0kV/mm。此外，还研究了富锂VTE处理对铌酸锂晶体畴结构的影响。实验发现对样品进行足够时间(大于30h)的富锂VTE处理可以消除高温热处理或钛扩散过程所诱导的铌酸锂晶体+Z面浅层畴反转，此发现为进一步优化制作近化学计量比Ti:PPLN光波导的工艺流程提供了参考。3.进一步开展了近化学计量比Ti:PPLN条型光波导的制作和表征工作。以0.5mm厚Z切同成份铌酸锂晶片为基底，经光刻，钛金属膜镀制，剥离，钛扩散，富锂VTE工艺过程和周期极化处理，制作出了极化周期为160μm，初始钛条宽度7μm，长度为15mm的近化学计量比Ti:PPLN条型光波导。并对近化学计量比Ti:PPLN条型光波导的组份和导波性能进行了表征。结果表明：波导层组份近似为化学计量比，且极化过程除增加了光波导的损耗并未显著影响其它导波性能。极化过程所引起的光波导损耗的增加归因于不完美的畴结构。然后采用腐蚀方法对畴结构显示并利用光学显微镜进行观察。以上研究结果为进一步的研究工作奠定了基础。