该论文的主要工作是探索具有指形结构的电极间薄膜分布电阻的计算方法,为电阻型敏感元件电极部分的设计提供理论上的指导,并且开发一个简单实用的计算指形结构电极间薄膜分布电阻的软件.由于指形电极间电阻的计算不能按常规方法来计算,而必须采用分布电阻的计算方法,该论文中对于薄膜电阻的分割计算,借鉴了三极管中基极分布电阻的计算方法,把指形电极间的电阻分割成几个形状更加规则的部分,设法计算出各分割部分的电阻的基础上,利用这些电阻间的并联关系,近而求得电极间总的电阻.在理论分析计算的基础上,选取了一些具有不同尺寸的实用化的指形电极,在电极间涂上实际的薄膜敏感材料,通过实验测量其电阻数值业和理论计算的结果进行比较,实际测量结果较好的验证了理论计算的正确性.在此基础上利用理论分析得出的计算公式,设计了一个比较简单但实用的计算指形电极间薄膜分布电阻的软件,利用该软件用户只要输入电极和薄膜敏感材料的相关参数,就能得到电极间总的电阻,从而可以指导实际应用中指形电极的设计.