【摘 要】
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分辨率是光学系统最重要的性能参数。理想成像系统的分辨率受经典衍射极限限制。超分辨技术因其可以超越经典的衍射极限而为人们所熟知,并且在共焦扫描成像系统和光存储中有
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分辨率是光学系统最重要的性能参数。理想成像系统的分辨率受经典衍射极限限制。超分辨技术因其可以超越经典的衍射极限而为人们所熟知,并且在共焦扫描成像系统和光存储中有着广泛的应用。本文介绍了光学超分辨的基本原理,设计了振幅型、位相型和复振幅型超分辨光瞳滤波器并研究了其超分辨性能。从光瞳滤波器超分辨特征参数基本定义出发,给出了超分辨性能参数的解析模型,依据该模型对振幅型和位相型光瞳滤波器的超分辨性能进行了分析和比较,给出了不同类型光瞳滤波器的适用范围及特点。设计了一种超分辨复振幅光瞳滤波器,并对其三维超分辨性能进行了研究。详细分析了第一区半径和透射率对斯特儿比、超分辨因子和旁瓣能量的影响。通过一系列的理论模拟证明借助于该复振幅光瞳滤波器可以实现三维超分辨。
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