微尺度流体控制与检测技术在国内外被广泛关注和研究，其中基于离散微液滴的控制技术在微流控芯片，微阵列芯片，显微注射，喷墨打印，微滴喷射成形技术以及生物制造工程得到了广泛应用。在生物化学领域的微离散流操作中，实现微滴量的精确控制极为重要的，要求微滴量控制在皮升至纳升范围。量的控制与检测是紧密相关的，同时检测也是正确进行微流体操作结果分析的前提，但目前微滴量测量及相关的微量检测方法，由于受多种因素限制，存在不同的问题。所以在基于离散流的微流体系统中，如何对微滴量进行有效可靠的检测，对于流体控制及其应用领域的研究具有十分重要的意义。本文提出了基于原子力显微镜(AFM)的悬臂感应微注射滴量检测方法，微滴质量的检测结果不受流体粘度等性质影响。检测原理是设计低弹性系数的悬臂，微注射液体加载到其上，产生挠曲，通过AFM探针对悬臂挠曲进行监测，从而将微滴量转化为AFM扫描管电压的偏移量，实现微滴质量检测的目的。本研究首先设计了微注射针拉制装置与压力注射机构，以获取检测对象(微液滴)，并对注射针驱动进给机构设计进行实验分析。在数学分析与实验测试的基础上，对悬臂上的微滴注射位置与AFM探针检测位置进行了优化选择。针对检测过程中出现的干扰问题进行了详细探讨分析，采用液体石蜡接收容纳注射微滴，并对系统的砂箱减震台进行进一步改进设计，有效抑制了检测结果中的高频扰动。经过实验测试与理论分析，得出低频干扰源自检测系统采用悬挂式隔震系统而产生的摇摆振动，采取改进系统下端液体阻尼器结构的方法，增大系统的水平阻尼与转动阻尼，提高了低频扰动的衰减率，实现了检测系统在瞬间干扰后的快速稳定。利用检测系统进行了皮升级微注射量的测量实验，得到微滴重量对应的AFM扫描管电压偏移值，并在测得聚酯悬臂弹性模量与几何尺寸的基础上，实现了对微滴量测量结果的计算。