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本文主要研究薄膜新材料——类金刚石(Diamond-Like Carbon,简写为DLC)薄膜光学特性的测量和参数反演。文中详细介绍了薄膜常用制备方法以及光学常数的测量方法,对参数反演用到的椭圆偏振测量法和透射光谱法作了重点阐述,并给出了测量仪器和测量结果。由于椭偏测量和透射光谱法测量结果是光学量,不能直接得到薄膜的光学常数(折射率和消光系数)以及厚度,通常采用最优化方法数值反演得到光学常数,文中采用一种新的基于群体智能的优化算法——粒子群算法,反演得到薄膜的三个光学常数。并应用克拉末-克朗尼格(K