纳米碳管自1990年被发现以来,由于其独特的结构特征与优异的性能,迅速成为国际研究的热点。由于化学气相沉积CVD(? Chemical? Vapor? Deposition)法产率高,设备简单,工艺参数易于控制,重复性好,与其它制备方法比较,CVD?法是最有望实现大批量的制备纳米碳管的方法。纳米碳管生产设备的可靠性、可控性对于纳米碳管的制备、质量提高、经济性提高具有非常重要的影响。因此本文将把重点放在制备纳米碳管的CVD设备的计算机自动控制方面。通过认真研究CVD法制备纳米碳管工艺的每一个细节,在集散控制思想的基础上,确定了控制系统的总体方案,将系统分成数据采集与处理模块、流量控制模块、温度控制模块、USB接口模块和PC应用等五个模块,通过PC协调各个模块相互配合,完成系统的控制任务。本系统中将数据采集和温度控制分开进行设计,不仅减轻了PC的负荷,大大提高了系统的控制执行效率,使系统模块化,便于维护与更新。