铝镓氮电子阻挡层对绿光LED性能影响的研究

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近年来,由于蓝光和绿光氮化镓基发光二极管(GaN基LED)具有发光效率高、节能、寿命长、尺寸小和污染小,极大地激起了人们将之应用于背光源、汽车前灯、通用照明领域的研究兴趣。虽然蓝宝石衬底上氮化镓基发光二极管产业取得了显著发展,但在通用照明领域中,GaN基LED仍然需要更高的发光效率和光输出功率。如何提高GaN基LED发光二极管的发光效率和光输出功率受到了人们的广泛关注。本文采用Veeco K465i型MOCVD设备在2英寸(0001)方向蓝宝石平面衬底上生长氮化镓基绿光外延片,并通过芯片标准工艺制成178×229μm~2的LED芯片,以研究n-AlGaN电子阻挡层和p-AlGaN电子阻挡层对GaN基LED发光效率和发光强度的影响,具体的内容如下:1、研究了在n-GaN与发光复合区之间的n-AlGaN电子阻挡层对LED光电性能的影响。其中在20mA驱动电流下,n-AlGaN在n型区作为电子阻挡层,相对于90nm的n-AlGaN的LED芯片I_v值305.2mcd,100nm和110nm的n-AlGaN的LED芯片I_v值分别提高了5.4%和11.3%;2、研究了在p-GaN与发光复合区之间的p-AlGaN电子阻挡层对LED光电性能的影响。其中在20mA驱动电流下,p-AlGaN在p型区作为电子阻挡层,相对于50nm的p-AlGaN的LED芯片I_v值326.46mcd,55nm和60nm厚p-AlGaN层的绿光LED芯片I_v值分别下降了3.93%和6.88%。上述结果表明,采用经过优化的n-AlGaN电子阻挡层和p-AlGaN电子阻挡层,有助于提高绿光GaN基LED发光效率和光输出功率,并在高效率和大功率GaN基LED领域具有重要的潜在应用价值。
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