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低能离子注入随着器件尺寸的逐渐缩小已经变成了当前工艺研究的热点,如何制造出性能优异的超浅pn结是工艺中的一道技术难题,与之伴随的则是计算机工艺模拟的发展.一个好的模拟工具常常可以为实验做出指导,该论文的工作也集中在开发一个好的低离子注入模拟器.
低能离子注入模拟及其软件开发
【摘 要】
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低能离子注入随着器件尺寸的逐渐缩小已经变成了当前工艺研究的热点,如何制造出性能优异的超浅pn结是工艺中的一道技术难题,与之伴随的则是计算机工艺模拟的发展.一个好的模
【机 构】
：
北京大学
【出 处】
：
北京大学
【发表日期】
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2000年期
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