基于微机械加工技术发展起来的电阻阵列是动态红外景物产生器的一种。它可在半实物（HWIL）仿真系统中用来对红外摄像机、导弹寻的器以及各种红外探测系统的实时性能进行测试和评估。电阻阵列是以电阻元作为微辐射元，当电流流过时，电阻元产生热量，从而产生红外辐射。通过控制流过每个电阻元的电流就可以控制每个电阻的温度，从而达到显示红外图像的目的。本文研究了微桥结构制备中的牺牲层工艺、红外辐射材料方阻特性、作为支撑层的非晶硅薄膜应力和微桥制备工艺。主要内容如下： ⑴研究了牺牲层的图形化，牺牲层的固化，牺牲层去除工艺。在牺牲层去除工艺研究中，通过改变射频功率和气体流量，获得了牺牲层的横向、纵向刻蚀速率与射频功率、气体流量之间的关系曲线和不同的刻蚀条件（氧工作气体、刻蚀功率、气体流量）下，不同方向上的刻蚀速率。较好的工艺参数和图形质量较好的牺牲层样品被得到，为微桥结构的后续制作奠定了基础。 ⑵以高纯度钛（99．99%）为靶材，采用电子束热蒸发的方法制备了钛金属膜，研究了不同膜层厚度、不同镀制工艺参数对钛金属膜方阻特性的影响，并做了详细的分析。用四探针测试系统测试制备的薄膜方阻，结果表明：随着膜厚的增加，方阻值会随之下降；选择合适的衬底温度、真空度以及沉积速率等工艺参数，可以得到满足红外景物产生器要求的方阻。 ⑶采用等离子增强化学气相沉积系统沉积氢化非晶硅薄膜，通过正交实验设计优化了制备氢化非晶硅的沉积工艺。在实验中着重改变了对薄膜特性影响的几个工艺条件，如：射频功率、沉积温度、压强、气体流量。实验使用的源气体为硅烷，基片是单面抛光的n型（100）硅片，直径为2英寸。采用BGS6341型电子薄膜应力分布仪来测应力。通过正交实验数据分析得出，薄膜应力最小的工艺参数，通过后续试验进行了验证。 ⑷制备出了微桥结构，得到了相关的工艺参数。