【摘 要】
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随着社会经济的不断发展,人类迫切需要改变能源结构,发展可再生、无污染、低成本的清洁能源。太阳能电池利用光伏效应可以直接将太阳能转化为电能,是最理想的新型能源之一。微晶硅薄膜作为一种高效率低成本的太阳能电池材料,成为当前这一领域的研究热点。本课题主要研究利用空心阴极等离子体增强化学气相沉积工艺,以SiH_2Cl_2和H_2为先驱气体和还原气体,制备结晶率可控的微晶硅薄膜。工作主要包括:(1)装置搭建
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随着社会经济的不断发展,人类迫切需要改变能源结构,发展可再生、无污染、低成本的清洁能源。太阳能电池利用光伏效应可以直接将太阳能转化为电能,是最理想的新型能源之一。微晶硅薄膜作为一种高效率低成本的太阳能电池材料,成为当前这一领域的研究热点。本课题主要研究利用空心阴极等离子体增强化学气相沉积工艺,以SiH_2Cl_2和H_2为先驱气体和还原气体,制备结晶率可控的微晶硅薄膜。工作主要包括:(1)装置搭建与改造。这部分包括空心阴极的设计加工、真空室改造、气路的设计与连接和其他有关设备的采购与
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