近年来,基于先进传感器系统和微量样本应用于研究分析生化试剂,单个的细胞,和生物大分子以及生物组织等的非入侵式无标签分析技术正受到专家学者越来越多的关注。与此同时,相应的射频片上分析系统和片上实验室的研究一直都属于科技前沿技术,而作为片上实验室的功能电路,集成片上网络分析仪的研究也成为了业界关注的焦点。本文通过整理分析相关文献,总结了片上六端口网络分析仪和片上共面波导带通滤波器以及亚毫米波硅基集成电路的国内外研究现状。提出了基于倍频链路适用于亚毫米波325~500 GHz频段的六端口网络分析仪电路结构,并分析系统对各模块电路提出了相应的技术指标要求。又基于TSMC 90 nm CMOS工艺设计并分析了共面波导及其不连续性结构,归纳了相应结构的特性随几何结构变化的规律。而且针对亚毫米波倍频链路谐杂波抑制的应用要求,重点设计并分析了并联短路短截线型和并联短路以及开路短截线型两种结构形式的共面波导带通滤波器。最后,设计并分析了作为倍频链路第一级倍频应用的宽频带毫米波有源倍频器。理论研究与仿真实现的所有关键集成电路与预期指标相吻合,并且对于构建亚毫米波片上六端口网络分析仪完整系统具有重要的价值。