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非共线性反铁磁材料的内部原子磁矩按照非平行/反平行的非共线几何关系排布,这一独特的磁结构导致了非共线反铁磁材料中存在一些常见反铁磁材料中无法观察到的物理现象,比如:最近在具有非共线反铁磁结构的Mn_3Sn单晶中发现了巨大的反常霍尔效应。然而,对于Mn_3Sn薄膜样品的研究,目前仅有少数几个工作报道了具有随机取向的多晶薄膜或呈离散岛状的异质外延薄膜。外延薄膜离散化的可能原因在于Mn_3Sn晶格自身的偏聚倾向以及薄膜-衬底间的较大晶格失配。本论文主要探究了连续外延Mn_3Sn薄膜的制备工艺,以及影响薄膜