应变传感器在生产、生活、科学研究的各个领域中都有重要的应用,随着社会的发展和科技的进步,人们对成本更低、功耗更小、灵敏度更高、稳定性更强的传感器产生了更强的需求。近年来,纳米技术与纳米技术的发展,制备出更轻更薄、体积更小、可以弯折适用于可穿戴设备的柔性应变传感器已成为可能。本文通过在镀有银叉指电极的PET薄膜表面,沉积钯纳子密集点阵来制备柔性的应变传感器。这种传感器对PET薄膜衬底的形变的响应是通过纳米粒子点阵的整体电导的改变而体现的,在应变测量中同时具备高灵敏度和大量程。本文着重探讨了纳米粒子点阵参数对所制备传感器的应变响应特性的影响。研究表明,钯纳米粒子密集点阵应变传感器对应变的响应特性很大程度上受纳米粒子覆盖率的影响。在达到渗流阈值之后,纳米粒子覆盖率越低的样品,量规系数越大;在施加中度应变(0.1%至0.3%)时,应变传感器保持基本固定的量规系数,电阻对于所施加应变的响应是线性的。对于低覆盖率的样品,即使在施加最小应变时,传感器样品依然维持着较高的量规系数。当所施加的应变大于0.3%时,应变传感器展现出量规系数进一步增大的特性。通过控制纳米粒子的沉积过程,我们制得了一种拥有接近渗流阈值的覆盖率的高效应变传感器。这种传感器在量程范围内拥有很好的线性响应,在测量微小形变时(最大不超过0.3%的形变),具有高达55的稳定的量规系数。在PET弹性形变极限内,大应变时量规系数可以高达200。Pd密集纳米粒子点阵还展现出可正常响应直至8%大应变的能力,并具有3500的极高量规系数。论文还研究了所制备的钯纳米粒子密集点阵应变传感器应变响应中的回线现象。分析了 PET的弹性形变的特点及纳米粒子点阵的稳定性对传感器的回线现象影响。