【摘 要】
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随着集成电路设计、制造技术的飞速发展,现场可编程门阵列(FPGA)得到了越来越多的应用。反熔丝FPGA以其无源、非易失、集成度高、利用率高、性能稳定、保密性强等优点,受到了
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随着集成电路设计、制造技术的飞速发展,现场可编程门阵列(FPGA)得到了越来越多的应用。反熔丝FPGA以其无源、非易失、集成度高、利用率高、性能稳定、保密性强等优点,受到了广泛的关注和应用。而目前反熔丝FPGA还完全依赖进口,国内没有任何设计和工艺加工的报道。对这方面的研究,将促进我国的集成电路的进一步发展。本论文参考国外的反熔丝FPGA的结构特点,结合作者的实际研究工作,对反熔丝FPGA内部的关键部分——编程结构,进行了分析论述,包括反熔丝结构、布线资源、编程结构、编程方式;并从工艺实现上讨论了目前普遍采用的ONO结构和MTM结构;最后,结合实际,进行了反熔丝单项工艺试验,取得了工艺实现的第一手资料,为我们独立开发反熔丝FPGA提供了工艺基础和技术支持。
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